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随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
龙池牡丹对品质的执着追求，体现在每一个环节。在源头把控上，拥有6300亩自有基地以及10万亩合作田园。从种植伊始，便以高于行业的严苛标准，逐株筛选每一朵牡丹花苞。并非每一朵花都有资格走进龙池牡丹的生产线，只有足够纯粹、足够优良的原料，才能顺利通过第一道关卡。
在生产过程中，实行全程品控。从洁净的生产环境到全链条无菌操作，每一项流程都被量化为可执行的标准，每一步操作都有明确的依据。在每一个关键控制点，品控团队以多频次、高强度的抽样检测，对产品进行全方位“体检”，任何细微的偏差，都无法逃脱系统的严格审查。
同时，依托先进实验室，对产品进行精密度量。对产品的活性成分、营养指标进行毫厘之间的精密分析，α - 亚麻酸含量、肽分子量、活性成分浓度等，每一个数字背后，都是对“稳定、有效、合格”的极致追求。
龙池牡丹秉持长期主义理念，不追求一时的暴利，而是着眼于长远发展，高度重视品牌建设和市场维护。连续三年纳税近亿元，用强大的实力筑牢企业根基，用勇于担当的精神赢得社会尊重。
从一朵花的凝视，到一瓶油的诞生；从一片田的守护，到一份健康的传递；从一个产业的坚守，到千万家庭的信赖。龙池牡丹甘愿将99%的精力，倾注于消费者可能永远不会看见的那1%的细节里。因为那1%，恰恰是品质的根基，是让消费者安心的来源。
消费者的每一次选择，都是一次沉甸甸的托付。龙池牡丹唯有以十年如一日的坚守，才能换来消费者那一句“放心”。也正是这份始终如一的坚守，让龙池牡丹赢得了市场的认可与权威机构的肯定。
龙池牡丹以匠心守护绽放，以标准定义典范。让每一份交付，都承载着凝视千万遍的初心。龙池牡丹坚信，唯有将品质追求到极致，才能换来消费者完全的安心。这，就是龙池牡丹为牡丹产业树立的标杆，也是向消费者交付的庄严承诺。
来源：企业供稿" alt="龙池牡丹：诚信为根、品质为本，守护万家安康" style="width:120px;height:80px;">
龙池牡丹：诚信为根、品质为本，守护万家安康
　　近日，休宁县齐云山生态文化旅游度假区“徽梦造营”非遗体验馆内，合肥工业大学经济学院研学团队跟着非遗传承人学习宣纸制造技艺，探讨文旅发展思路。7月份以来，齐云山非遗体验、摩崖石刻、祈福文化等文旅业态吸引省内外10余所高校师生和2000余名中小学生前来研学旅游。（张晓晖朱伟强/摄）
" alt="大学生跟着非遗传承人学习宣纸制造技艺" style="width:120px;height:80px;">
大学生跟着非遗传承人学习宣纸制造技艺
根据世界银行的数据，乌兹别克斯坦的城市化率从2000年的36%上升到2019年的50%，预计到2030年将超过60%。这意味着在未来十年里，乌兹别克斯坦的建筑市场将继续保持强劲的增长势头。
2022年乌全国销售玻璃总额为1079亿苏姆(约合7300万美元)与2022年相比增长1.5倍以上。2022年，乌进口玻璃产品总额约13亿苏姆(约合88万美元)，2022年进口量大幅度提高，达到39亿苏姆(约合364万美元)。
中亚地区，城镇化进程加速叠加能源转型与工业化需求，迎来了历史性的基础设施建设浪潮，基建投资驱动玻璃需求井喷。哈萨克斯坦，2024年住宅建设任务达1000 万平方米；乌兹别克斯坦、哈萨克斯坦多个重点项目接连落地，带动玻璃产品需求年均增速超过15%。
2025年乌兹别克斯坦国际玻璃门窗及铝材展览会
展出时间：2025年11月26-28日
展出地点：乌兹别克斯坦塔什干国家展览中心
中玻跨境展位号：4A01
展品内容：
玻璃、玻璃制品应用：建筑和装饰玻璃、幕墙玻璃、镀膜玻璃（低辐射玻璃、热反射玻璃）、光伏玻璃、安全玻璃、防盗防弹玻璃等各类玻璃；节能玻璃门窗和配件；五金工具；工业玻璃；电子及电光源玻璃；特种玻璃；工艺艺术玻璃；日用玻璃制品；设计软件等。
玻璃深加工机械磨料磨具及玻璃生产线：各种切割、磨边、钻孔、雕砂、酸洗等加工机械；钢化、热弯、夹层、镀膜、中空、印花等生产设备及有关自动控制设备；玻璃表面研、抛设备；磨具、刀具及其他玻璃加工工具。
玻璃生产技术与设备：各种切割、磨边、钻孔、雕刻、喷砂、清洗等加工机械；增强、热弯、夹层、镀膜、中空、制镜、印花、门窗等生产设备及控制系统；玻璃表面研磨、抛光设备。
磨具、刀具和其他玻璃加工器具；
原材料、耐火材料和各种主、辅助材料：各种高级耐火材料；矿物原料和化工原料等；各种研磨、抛光、酸蚀、蒙砂和活化玻璃表面的材料；各种（高级）玻璃功能膜；有关的聚合物、树脂、胶片、密封胶、干燥剂、润滑剂冷却剂和银膏、幕墙结构胶、无影胶和粘结剂等；有关的金属和贵金属及制品等；各种涂料、着色剂和颜料等。
玻璃配件：五金配件、设备零配件、窗帘、密封剂、清洁剂等。
中空及容器玻璃：中空玻璃产品、各种玻璃瓶、中空/容器玻璃相关原材料、生产设备、模具、技术、服务、清洗、运输等。
中空容器玻璃：中空玻璃产品、各种容器玻璃相关原材料、生产设备、模具、技术、服务、清洗、运输等、熔炼设备、成型设备、原料、退火设备、检验/质量控制、配料设备、装修设备/材料、冷端设备、加工设备、软件、协会、贸易刊物、学校、行业协会、专业、出版物和新闻媒体，及相它相关服务行业。
中玻跨境，助力玻璃外贸企业开拓国际市场
深耕玻璃行业国际化16年，中玻跨境凭借国际平台www.Glassinchina.com，以及丰富的海外拓展经验，已累计参与20多个国家、45场专业国际玻璃展会，帮助无数中国玻璃品牌赢得海外市场的关注与合作。
专业服务赋能企业出海
中玻跨境不仅提供线下展会支持，还通过线上平台整合国际资源，为企业提供咨询、商务对接、海外品牌推广等一站式服务。助力企业精准对接海外采购商，提升品牌国际影响力。
正式启动《2026年中国玻璃供应商》即”China Glass Suppliers 2026”英文广告征订。用一本书打开2026全球市场！
电话/微信：18989872723
中玻跨境在墨西哥
中玻跨境在土耳其
中玻跨境与您相约2025年乌兹别克斯坦国际玻璃门窗及铝材展览会。
中玻跨境展位号：4A01，期待与您相约塔什干！

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中玻跨境即将亮相2025年乌兹别克斯坦玻璃门窗及铝材展览会,行业会议
品牌代表品质，用品质赢得一片掌声
福美珈的产品定位中高端，研发、设计与生产工艺标准远高于行业标准，旨在成为世界中高端橱柜。公司旗下的橱柜品牌更是列入中国名优橱柜品牌行列中，福美珈以自身最强的实力和值得信懒的品质赢得行业的好评。
记者在采访福美珈公司相关负责人时，该品牌的负责人说得最多的一句就是“好品牌源于有好品质”。福美珈非常注重消费者对品牌的肯定度与认可，为此，更是花大血本来生产。从原料采购到生产设备，再到专业人员的配备，无不以优质为前提。在福美珈品牌经营下带给消费者的是高品质的保障，特别是福美珈推出引领时尚品质生活品质的新时代橱柜产品，更是极大地满足了消费者对于新生活的要求。福美珈品牌带来的品质效应，赢得了市场的一片掌声，同时也收获不少忠实的消费者。
据了解，福美珈橱柜在市场上的反应强烈。刚刚过去的双11，各地实体店整体销售更是呈直线上线，店内的工作人员还一度忙不过来。
由店内火爆的销售情况，我们就不难看出来，福美珈橱柜品牌好，口碑佳，消费者拥护程度也很高。

实力雄厚，见证一代环保橱柜新标杆
据调查了解，福美珈作为中国十大橱柜品牌本身的产品质量已经深得市场肯定，现代化的生产设备与精良的管理让福美珈赢得众多消费者的信赖。作为福美珈的忠实客户，林先生告诉记者，看到福美珈在央视与湖南卫视两大主流媒体上展播，感受到了不仅是福美珈产品的可信懒，更是对福美珈实力的惊叹。
对于福美珈此次向媒体联合展播，充会显现出企业的品牌雄厚的实力，同时也体现出企业品牌文化和市场战略的完胜性。用实力和品质说话，用实力向消费者展现品牌的强大，这就是中国十大环保橱柜福美珈的特色。
福美珈橱柜用品牌实力+优质产品，赢得了行业一次次的肯定。同时加上大力广告宣传轮播展现，为品牌赢得美誉度作铺垫。
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品牌代表品质，福美珈橱柜用高品质铸造行业美称
迈克尔・卡里克承认，他不确定曼联后卫马泰斯・德里赫特本赛季能否再度登场，这名球员正受困于一次“棘手”的背部伤势。
目前排名英超第三的曼联将于周五客场对阵伯恩茅斯，全力冲击欧冠资格，而德里赫特仍将缺阵。

这位26岁的中后卫自11月30日对阵水晶宫一役后，就再也没有为曼联出场过。
卡里克表示：“他显然在努力争取回归，但背部的问题确实非常棘手。”“我们会尽一切努力，让他尽快康复归队。”
当被问及德里赫特是否有可能赛季报销时，卡里克说道：“说实话，这很难说，因为伤势已经拖了这么久。”“我真的没法给出更多信息。背部伤病就是这样，有时候你觉得没事了，可突然又不对劲了。”
“我们只能保持耐心，一步步处理。只能走着瞧。我们当然会给他足够的恢复时间，也会尽力让他尽快回来，但真的不好推算。”“我不是在隐瞒什么。目前我们确实不知道结果如何，只能等待观察。”
德里赫特的伤势让他代表荷兰队参加世界杯的前景蒙上阴影，外界也开始猜测他是否需要接受手术治疗。
在被问及是否可能手术时，卡里克表示：“现阶段我不想谈论这个。”“我们显然会尽一切可能帮助德里赫特康复，不惜一切代价让他回归。”
标签：伯恩茅斯水晶宫" alt="赛季报销？卡里克不确定德里赫特能否复出，世界杯前景堪忧" style="width:120px;height:80px;">
赛季报销？卡里克不确定德里赫特能否复出，世界杯前景堪忧
　　3月21日，2026年广东省城市篮球联赛（“粤BA”）将正式开赛。揭幕战将在广州天河体育馆打响，东道主广州队迎战中山队，率先点燃赛场激情。
　　据悉，中山队将以全本土阵容亮相，补充了多位新人球员，主打“小快灵准”的打法，目标冲击前六。
中山队全体队员合照。图/中山市宣
　　教练组由主帅冯汉远与助教伍国权的冠军组合领衔。另外，中山本土篮球名将王瑞琛将首次以教练身份亮相。他是中山队史首位在省级联赛中拿到“千分先生”称号的球员，曾长期担任中山队队长。
　　球员中值得瞩目的还有李衍均、袁锦耀组成的“中山双子星”。
　　李衍均是中山队外线核心之一与“得分王”，曾两度斩获“村BA”全国冠军，去年携手袁锦耀助力中山队获得省级联赛季军，追平队史最佳成绩。
李衍均（55号）在训练中。图/中山市宣
　　袁锦耀，人称“中山库里”，是一位战胜白血病重返赛场的传奇选手。在职业上升期，他因病被迫中断职业生涯。凭借对篮球的执念与家人的支持，他最终战胜病魔、再度站上赛场，成为中山队外线核心之一。
袁锦耀（30号）在训练中。图/中山市宣
　　在赛场之外，中山还建立了“赛事+文旅+商业”联动机制，探索推出票根经济、消费券发放、景区门票减免等举措，鼓励市民游客在中山观赛、游玩。
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广东省城市篮球联赛（粤BA）
官方购票渠道
南方网、粤学习记者黄慧诗" alt="明天开波！广州 VS 中山打响“粤BA”揭幕战" style="width:120px;height:80px;">
明天开波！广州 VS 中山打响“粤BA”揭幕战

洒水车

买车就买旭环牌东风国六14吨清洗洒水车，全国服务站有上千家，欢迎客户来电咨询。

此款车型的外形尺寸为9525,9545X2550X3075,3190（mm），整车的总质量为25000（kg），整备质量为11600（kg），最高车速89（km/h）。

旭环牌东风国六14吨清洗洒水车的底盘型号为DFH1250D4，底盘轴距为4350+1350,5350+1350,5700+1350,4600+1350,4800+1350（mm），排放标准为GB17691-2018国Ⅵ，使用295/80R22.5 18PR,11.00R20 18PR规格的轮胎，底盘配置的发动机型号为D6.7NS6B290 DDi75E350-60 DDi75E300-60 DDi75E340-60 D6.7NS6B320，底盘承载力强，可靠耐用。

旭环牌LSS5250GXSD6型清洗洒水车主要技术参数
产品名称:	旭环牌LSS5250GXSD6型清洗洒水车	外形尺寸:	9525,9545X2550X3075,3190(mm)
底盘型号:	DFH1250D4	货箱尺寸:	X X (mm)
总质量:	25000(Kg)	接近/离去角:	10/15(°)
额定质量:	13270,13205(Kg)	前悬后悬:	1480/1980,1500/1980(mm)
整备质量:	11600(Kg)	最高车速:	89(km/h)
底盘参数
底盘型号:	DFH1250D4	燃油种类:	柴油
轴数:	3	前轮距:	2010,2040,2070(mm)
轴距:	4350+1350,5350+1350,5700+1350,4600+1350,4800+1350(mm)	后轮距:	1860/1860,1880/1880(mm)
驾驶室乘人数:	(人)	弹簧片数:	3/10,3/4,9/10
轮胎数:	10	轴荷:	2010,2040,20703
轮胎规格:	295/80R22.5 18PR,11.00R20 18PR
发动机参数
发动机型号:	发动机生产企业	排量(ml)	功率(kw)/马力(PS):
D6.7NS6B290	东风康明斯发动机有限公司	6700	213/290
DDi75E350-60	东风商用车有限公司	7500	257/350
DDi75E300-60	东风商用车有限公司	7500	220/300
DDi75E340-60	东风商用车有限公司	7500	250/340
D6.7NS6B320	东风康明斯发动机有限公司	6700	231/315
专用功能说明：
仅选用4350+1350一种轴距底盘;罐体外形宽×高(mm):2350×1550;罐体长度为6000mm;罐体有效容积:13.80立方米。介质名称为:水;介质密度:1000 千克/ 立方米。可选装:1、后上喷雾装置;2、后下喷雾装置;3双水炮;4、左、右侧浇花装置;5、折筋型水罐前后封头;6、可不装作业指示灯。以上6种选装配置引起的重量及整车尺寸变化可以忽略不计。专用装置由水罐、水泵及管路系统组成,用于对路面进行清洗及喷洒等。该车选用D310和 D320两种平顶驾驶室,随底盘选装前雾灯、驾驶室前面罩、前保险杠及前部灯具和后视镜、驾驶室顶部中间三个装饰灯,驾驶室侧窗选装树脂装饰板,驾驶室前脸扰流罩、驾驶室前风窗上部扶手。选用D310驾驶室时整车外形尺寸(长×宽×高)为:9525mm×2550mm×3075mm,前悬/后悬为:1480/1980,前伸量为:365mm,接近角/离去角为10°/15°;选用D320驾驶室时整车外形尺寸(长×宽×高)为:9545mm×2550mm×3190mm,前悬/后悬为:1500/1980,前伸量为:365mm,接近角/离去角为10°/15°。该车整备质量为11600 kg,驾驶室准乘人数为2人时额定载质量为13270 kg,驾驶室准乘人数为3人时额定载质量为13205kg。该车侧面及后下部防护装置材料为Q235,连接方式为:横杆与支架焊接,支架与底盘焊接固定。后防护断面尺寸200X50mm,离地455mm。车身侧面、后部均粘贴有车身反光标识。该车安装带卫星定位功能的行驶记录仪。ABS型号/生产厂家:3631010-C2000/东科克诺尔商用车制动系统(十堰)有限公司,ABS 8/东科克诺尔商用车制动系统(十堰)有限公司,4460046450/威伯科汽车控制系统(中国)有限公司。

旭环牌东风国六14吨清洗洒水车大放异彩，得利于工人的辛苦付出。证实没有不劳而获的成功，没有轻易得来的幸福，一切都有代价，都靠付出。

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旭环牌东风国六14吨清洗洒水车哪款性能好专汽家园

内容简介: